Thermal conductivity measurement of carbon containing zirconia films using the 3\(\omega\) method
- Bei der Herstellung von Plastikteilen in Spritzgießmaschinen wird der Abkühlprozess durch externes Heizen begleitet, dadurch kühlen die Plastikteile langsam ab bis sie schließlich fest werden. Thermische Barriereschichten können im Innenraum einer Spritzgießmaschine eingesetzt werden, dadurch entfällt die Notwendigkeit des externen Heizens. Auf diese Weise kann Energie gespart werden. In dieser Arbeit wird die thermische Leitfähigkeit von kohlenstoffhaltigen \(ZrO_2\)-Schichten mittels der 3\(\omega\)-Methode vermessen. Diese Schichten wurden durch \(\textit {chemical vapor deposition}\) (CVD) und \(\textit {plasma enhanced chemical vapor deposition}\) (PECVD) abgeschieden. Plasma beeinflusst die Morphologie der Schichten und damit die thermische Leitfähigkeit. Es konnte gezeigt werden, dass kohlenstoffhaltige \(ZrO_2\)-Schichten, die durch den PECVD-Prozess abgeschieden wurden, sich als ausgezeichnete thermische Barriereschichten für Spritzgießmaschinen eignen.
Download full text files
Additional Services
| Author: | Vitali BedarevGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-125779 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-12577 |
| Referee: | Achim von KeudellORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2024/05/06 |
| Date of first Publication: | 2024/05/06 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2024/04/10 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Wärmeleitfähigkeit; Sperrschicht; CVD-Verfahren; PECVD-Verfahren; Plasma |
| Institutes/Facilities: | Institut für Experimentalphysik II, Reaktive Plasmen |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
