Fields and particle kinetics in the non-local regime

  • Die vorliegende Arbeit befasst sich mit der "INductively Coupled Array"(INCA)-Entladung, die aus einer leicht skalierbaren Anordnung kleiner Spulen besteht und bei niedrigem Druck einen stochastischen Heizmechanismus ermöglicht. Dabei wird die thermische Bewegung der Elektronen im räumlich-periodischen elektrischen Feld genutzt. Zwei verschiedene Spulenanordnungen der INCA-Entladung wurden bisher theoretisch eingeführt und eine davon experimentell umgesetzt. Hier wird die zweite Konfiguration realisiert und gezeigt, dass sie sich entsprechend den Vorhersagen verhält. Es wird eine Theorie für die relative Leistungseinkopplung entwickelt und damit die Effizienz von gemessenen und simulierten Feldern verglichen. Außerdem wird eine neue Methode zur Bestimmung der Ionengeschwindigkeitsverteilung mit großem Dynamikbereich entwickelt. Sie nutzt eine AC-modulierte Datenerfassung mit Lock-in-Detektion und wird an einer klassischen induktiven Entladung untersucht.

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Metadaten
Author:Christian Lütke StetzkampORCiDGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-125193
DOI:https://doi.org/10.13154/294-12519
Referee:Uwe CzarnetzkiORCiDGND, Achim von KeudellORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2024/04/17
Date of first Publication:2024/04/17
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:2024/02/23
Creating Corporation:Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:Plasmaphysik; Hochfrequenzentladung; Elektronenheizung; Niederdruckplasma; ICP
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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