Elektrostatische MEMS-Schritt-Aktoren mit großen und linearen Stellwegen für THz-Anwendungen
- MEMS-Aktoren erreichen hochpräzise Auslenkungen bis in den Submillimeterbereich. Indem sie eine Strahllenkung der submillimeterlangen Wellenlängen der THz-Frequenzen realisieren, eröffnen sich neue Perspektiven zur Erschließung der technologischen THz-Lücke. In dieser Arbeit werden THz-Reflektarray-Antennen und THz-Phasenschieber basierend auf Aktoren, MEMS-Spiegeln und Schlitzwellenleitern entworfen und elektro-mechanisch charakterisiert. Als Führungsmechanismen dienen verkippte Dreiecksfedern mit Konstantkraftreaktion. Mehrere Aktoren, die über flexible Führungsmechanismen verbunden sind und deren Elektrodenabstand mit jedem Aktor größer wird, ergeben einen Stufenaktor. Es werden 16-stufige Auslenkungen von bis zu 230,7 \(\mu\)m bei 54 V erreicht. Ein elektro-mechanischer Digital-Analog-Wandler (DAC) setzt bei Eingabe eines digitalen elektrischen Codes eine analoge mechanische Verschiebung um und erreicht Auslenkungen von bis zu 234,5 \(\mu\)m bei 60 V bei einer Auflösung von 2\(^{3}\) bzw. 3\(^{3}\).
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| Author: | Lisa SchmittORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-98589 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-9858 |
| Referee: | Martin HoffmannORCiDGND, Ulrike WallrabeGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2023/05/03 |
| Date of first Publication: | 2023/05/03 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2023/02/21 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Digital-Analog-Wandler; MEMS; Schlitzwellenleiter; Phasenschieber; Aktor |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
