Modeling and simulation of the planar multipole resonance probe

  • Die aktive Plasmaresonanzspektroskopie (APRS) ist eine etablierte Plasmadiagnosemethode, die sich die Fähigkeit des Plasmas zunutze macht, bei oder nahe der Elektronenplasmafrequenz zu schwingen. In den letzten zehn Jahren wurde eine optimierte APRS-Sonde, die planare Multipolresonanzsonde (pMRP), vorgeschlagen. Ziel dieser Dissertation ist es, das spektrale Verhalten der idealisierten pMRP mit Hilfe von mathematischen Modellen zu untersuchen. Zu diesem Zweck werden das Drude-Modell, das kollisionsfreie kinetische Modell und das kollisionskinetische Modell entwickelt. Neben der idealisierten pMRP sind diese drei in dieser Dissertation vorgeschlagenen Modelle vielversprechend für die Anwendung auf andere APRS-Sonden des planaren Typs.

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Metadaten
Author:Chunjie WangORCiDGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-97460
DOI:https://doi.org/10.13154/294-9746
Referee:Ralf Peter BrinkmannORCiDGND, Thomas MussenbrockORCiDGND, Jens OberrathORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2023/03/14
Date of first Publication:2023/03/14
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Date of final exam:2023/01/18
Creating Corporation:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
GND-Keyword:Plasma; Kinetische Theorie; Plasmadiagnostik; Plasmasonde; Modellierung
Dewey Decimal Classification:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik
faculties:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht