Passive mikromechanische Bauelemente und Schaltungen für energieautarke Sensoren

  • Im Rahmen dieser Arbeit wird ein neues Mess- und Sensorkonzept erarbeitet, bei dem keine elektrische Hilfsenergie zur Messung, Speicherung, Digitalisierung sowie für eine erste Datenvorverarbeitung erforderlich ist. Dazu werden die wichtigsten Funktionen der Messdatenerfassung anstatt in der elektrischen in der mechanischen Domäne umgesetzt, um ausgewählte Messdaten, wie die maximal aufgetretene Amplitude eines Signals, zu erfassen. Die zum Messen und Speichern erforderliche Energie wird hier unmittelbar aus dem zu erfassenden Messsignal gewonnen. Der am Mikrosystem gespeicherte Wert ist über beliebige Zeiträume verfügbar und kann nach Belieben passiv, z.B. über RFID ausgelesen und ggf. zurückgesetzt werden. Die Arbeit thematisiert hierbei verschiedene mikromechanische Bauelemente, die sich auf Bauteilebene adaptieren und auf Schaltungsebene miteinander in einem Netzwerk zu einer Sensorschaltung verschalten lassen.

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Metadaten
Author:Philip SchmittORCiDGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-95363
DOI:https://doi.org/10.13154/294-9536
Referee:Martin HoffmannORCiDGND, Thomas MuschGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:German
Year of Completion:2022
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Date of final exam:2022/11/25
Creating Corporation:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
GND-Keyword:Sensor; Mikrosystemtechnik; Integrierte Schaltung; Analog-Digital-Umsetzer; Speicher (Informatik)
Institutes/Facilities:Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Dewey Decimal Classification:Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik
faculties:Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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