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Krisztian Neutsch

• Nanostructures are a growing future technology. Their progress is connected to the development of modern microscopy methods for their investigation. Commonly used methods are atomic force microscopy and electron microscopy. They provide superior resolution, but come with a number of limitations. New high-resolution digital holographic microscopy (DHM) techniques are able to overcome some of these limitations. With lower technical and financial effort, they are able to perform contactless, non-invasive, three-dimensional topographic imaging, even of buried structures, and provide additional sample information by phase image acquisition. This thesis shows the utilization of modern microscopy techniques for the investigation of nanostructures from high-resolution stationary methods down to a portable smartphone solution for a range of applications.
• Nanostrukturen sind eine stark wachsende Zukunftstechnologie. Ihr Fortschritt ist eng an die Entwicklung von Messtechniken zu ihrer Untersuchung gekoppelt, um ihre Effekte sichtbar und optimierbar zu machen. Häufig verwendete Verfahren sind die Rasterkraftmikroskopie oder Elektronenmikroskopie. Diese Verfahren bestechen durch hohe Auflösung, gehen aber mit starken Limitierungen einher. Neue hochauflösende digital-holographische Mikroskopieverfahren (DHM) sind in der Lage, eine Reihe dieser Limitierungen zu überwinden. Sie ermöglichen trotz geringerem apparativem und finanziellem Aufwand eine kontaktlose, nicht-invasive, dreidimensionale topographische Bildgebung von Strukturen und bringen mittels Phasenbildgebung zusätzliche Probeninformationen, selbst von vergrabenen Ebenen, zu Tage. In dieser Dissertation werden moderne DHM-Verfahren zur Untersuchung von Nanostrukturen entwickelt und analysiert, von hochauflösenden, stationären Techniken bis hin zur mobilen Smartphone-Lösung.