Wafer scale density modulation of self-assembled quantum dots by epitaxial roughness control
- Das Kristallwachstum von Galliumarsenid erfolgt idealerweise in Einzelschichten. Dies hat zur Folge, dass die Oberfläche Zustände von atomar glatter und rauer Oberfläche durchläuft. Selbstorganisierte Quantenpunkte entstehen, wenn Indiumarsenid auf Galliumarsenidoberflächen deponiert wird. Diese Arbeit zeigt, dass die atomare Rauigkeit während des Schichtwachstums ein entscheidender Parameter für die Nukleation von Quantenpunkten darstellt. Mittels Molekularstrahlepitaxie werden Schichtdickengradienten hergestellt, welche die Oberflächenrauigkeit modulieren. Rasterkraftmikroskopiemessungen zeigen, dass die Rauigkeit die Quantenpunktnukleation so beeinflusst, dass die Quantenpunktdichte moduliert ist. Photolumineszenz an eingebetteten Quantenpunkten zeigt, dass diese Modulation auf den gesamten Wafer wirkt. Dabei kann das Muster, mit dem die Quantenpunkte moduliert sind, gezielt kontrolliert werden, sodass Modulation von 3 mm bis 300 µm hergestellt werden können.
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| Author: | Nikolai BartGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-107452 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-10745 |
| Referee: | Andreas D. WieckORCiDGND, Ulrich KöhlerGND, Stefano SanguinettiGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2023/11/24 |
| Date of first Publication: | 2023/11/24 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2023/10/11 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Quantenpunkt; Rauigkeit; Molekularstrahlepitaxie; Rasterkraftmikroskopie; Photolumineszenz |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Angewandte Festkörperphysik, AG Terahertz Spectroscopy and Terahertz Technologies |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
