Elektrostatische Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosysteme
- Das in dieser Arbeit entwickelte Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosystem erzeugt eine wegunabhängige konstante Kraft und kann gleichzeitig die Auslenkung messen. Das Gesamtsystem besteht aus elektrostatischen Kammstrukturen, die beim Anlegen einer Spannung direkt eine konstante Kraft erzeugen, sowie einem nichtlinearen Federsystem, das als Konstantkraft-Mechanismus wirkt und eine konstante Federkraft generiert. Exemplarisch wird mit diesem Mikrosystem das Kriechverhalten bei Verdunstung und die Steifigkeitsänderung an einem Reinstwassertropfen gemessen. Dementsprechend zeigt das entwickelte Konstantkraft-Sensor-Aktor-Mikrosystem ein großes Potential in der Zellforschung für die Stimulation und Analyse von Zellen.
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| Author: | Anna Christina ThewesORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-107152 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-10715 |
| Referee: | Martin HoffmannORCiDGND, Hartmut WitteGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2023/11/13 |
| Date of first Publication: | 2023/11/13 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2023/06/16 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Mikrosystemtechnik; MEMS; Elektrostatik; Sensortechnik; Aktorik |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
