Knowledge-based symmetry control of technological high-frequency plasmas
- In dieser kumulativen Dissertation sind 16 wissenschaftliche Veröffentlichungen des Autors auf dem Gebiet der Niedertemperatur-Hochfrequenzplasmatechnologie zusammengefasst. Ein zent-rales Thema in diesen Arbeiten ist die Untersuchung verschiedener Arten von Plasmaasymmetrie und deren Kontrolle. Konkret wird die geometrische, magnetische und elektrische Asymmetrie sowie der Einfluss von unterschiedlichen Plasmaquellen und Oberflächenmaterialien auf die Entla-dung untersucht. Die zugrundeliegende komplexe Elektronenheizungsdynamik wird auf der Grundlage experimenteller und computerbasierter Untersuchungen auf einer fundamentalen Ebene verstanden. Darüber hinaus werden die Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung und ihre Auswirkungen auf industrielle Anwendungen wie Ätz- oder Abscheidungsprozesse über einen wei-ten Bereich von Parametern sowohl in kapazitiv als auch in induktiv gekoppelten Plasmen analysiert.
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| Author: | Birk BergerORCiDGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-107100 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-10710 |
| Title Additional (German): | Wissensbasierte Kontrolle der Symmetrie in technologischen Hochfrequenz-Plasmen |
| Referee: | Julian SchulzeORCiDGND, Thomas MussenbrockORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2023/11/09 |
| Date of first Publication: | 2023/11/09 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2023/03/09 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Plasma; Plasmadynamik; Asymmetrie; Niederdruckentladung; Plasmabrenner |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| faculties: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
