Laserbasierte Prozesskette zur Fertigung von Quarzglasoptiken
- Optische Elemente im Millimeter- und Submillimeterbereich gewinnen in vielfältigen Anwendungsbereichen zunehmend an Bedeutung. Kommerziell eingesetzte Fertigungsverfahren, wie das Heißprägen oder Schleifen und Polieren, stoßen jedoch bei der Herstellung kleiner Strukturgrößen oder komplexer optischer Geometrien an ihre Grenzen. Vor diesem Hintergrund wird im Rahmen dieser Arbeit die Herstellung optischer Elemente aus Quarzglas mit Hilfe eines innovativen, zweistufigen Fertigungsverfahrens untersucht. Hierzu wurde ein hochpräziser Ultrakurzpulslaserablations- und ein CO\(_2\)-Laserpolierprozess kombiniert. Alle gefertigten Optiken zeigen eine hohe geometrische Genauigkeit und optische Performanz, was in dieser Arbeit für eine miniaturisierte Version des klassischen konvexen Axicons demonstriert wird. Darüber hinaus wurden Optiken, wie konkave Axicons oder Axiconarrays hergestellt und getestet, die mit kommerziellen Verfahren nicht gefertigt werden können.
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| Author: | Simon SchwarzGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-106601 |
| DOI: | https://doi.org/10.13154/294-10660 |
| Referee: | Cemal EsenORCiDGND, Ralf HellmannGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2023/09/25 |
| Date of first Publication: | 2023/09/25 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau |
| Date of final exam: | 2023/06/14 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Maschinenbau |
| GND-Keyword: | Axicon; Bessel-Bündel; Ultrakurzzeitlaser; Abtragen; Quarzglas |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau |
| faculties: | Fakultät für Maschinenbau |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
