Ion-induced secondary electron emission of plasma-exposed metals

  • Ioneninduzierte Sekundärelektronenemission von Oberflächen tritt in allen Plasmen auf, die Kontakt mit Oberflächen wie Elektroden oder Kammerwänden haben. Diese Sekundärelektronen wurden durch die Randschichtspannung ins Plasma beschleunigt und verändern die Entladungscharakteristik des Plasmas. Elektronenemission wird im Plasma durch andere Plasma-Oberflächen-Wechselwirkungen zeitlich und räumlich überlagert, sodass eine direkte Messung des sogenannten Sekundärelektronemissionskoeffizienten (SEEC) im Plasma unpräzise ist. Zur präzisen Bestimmung des SEECs wird deswegen in dieser Dissertation die Elektronenemission anstatt in einem Plasma in einem Teilchenstrahlexperiment gemessen. Hier wird die Abhängigkeit des SEECs von Oberflächenbedingungen untersucht. SEECs von verschiedenen Metallen mit drei charakterisierten Oberflächenbedingungen (sauber, unbehandelt, oxidiert) werden quantitativ gemessen, sowie die zugrundeliegenden Prozesse anhand von eigenen Modellen erklärt.

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Metadaten
Author:Rahel BuschhausORCiDGND
URN:urn:nbn:de:hbz:294-104462
DOI:https://doi.org/10.13154/294-10446
Referee:Achim von KeudellORCiDGND, Peter AwakowiczORCiDGND
Document Type:Doctoral Thesis
Language:English
Date of Publication (online):2023/11/09
Date of first Publication:2023/11/09
Publishing Institution:Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:2023/07/17
Creating Corporation:Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:Wechselwirkung; Metalloberfläche; Elektronenemission; Plasma; Sekundärelektron
Dewey Decimal Classification:Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):License LogoKeine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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