Microstructure and grain boundary evolution in titanium thin films

Korngrenzen (KG) spielen eine entscheidende Rolle bei der Bestimmung der physikalischen und chemischen Eigenschaften von polykristallinen Materialien. In dieser Arbeit untersuchen wir die atomare Struktur von KG in Titan. Eine neuartige bikristalline Dünnschicht wurde mit gepulstem Magnetronsputtern auf SrTiO\(_3\) (001)-Substraten bei 600 °C synthetisiert. Textur und Mikrostruktur der Schichten werden zunächst mit Hilfe der Rasterelektronenmikroskopie analysiert. Alle beobachteten KG wurden als \(\Sigma\)13 [0001] indiziert. Weitere Aufnahmen mit dem Rastertransmissionselektronenmikroskop zeigten, dass die KG häufig in symmetrischen \(\bar {7}\)520- und \(\bar {4}\)310-Facetten und vereinzelt in asymmetrischen 10\(\bar {1}\)0 // 2\(\bar {1}\)\(\bar {1}\)0-Facetten vorliegen. Dabei folgen die symmetrischen KG dem Modell der Struktureinheiten, werden jedoch durch die Zugabe von Fe verändert. Insgesamt werden in dieser Arbeit verschiedene neuartige Verfahren zur Abscheidung von Ti-Dünnschichten und die Analyse der auftretenden KG dargestellt.

Metadaten
Author:	Vivek Devulapalli GND
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-95106
DOI:	https://doi.org/10.13154/294-9510
Referee:	Gerhard Dehm GND, Jochen M. Schneider GND
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	English
Date of Publication (online):	2022/12/15
Date of first Publication:	2022/12/15
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Maschinenbau
Date of final exam:	2022/11/04
Creating Corporation:	Fakultät für Maschinenbau
GND-Keyword:	Werkstoffkunde; Dünne Schicht; Titan; Korngrenze; Durchstrahlungselektronenmikroskopie
Dewey Decimal Classification:	Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Ingenieurwissenschaften, Maschinenbau
faculties:	Fakultät für Maschinenbau
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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