Grundlegende Untersuchungen zur Steuerung und Reaktionskinetik von NH\(_{3}\)- und N\(_{2}\)/H\(_{2}\)-Plasmen
- Ammoniakplasmen finden in der Halbleiterindustrie Anwendung zur Erzeugung von Passivierungs- und Anti-Reflektionsschichten für Solarzellen. Eine weitere wichtige Anwendung betrifft die biokompatible Funktionalisierung von Oberflächen. Aufgrund der Umweltunverträglichkeit von Ammoniak soll untersucht werden, ob ein Ersatz durch Wasserstoff-/Stickstoff-Gasgemischen möglich ist. In dieser Arbeit werden NH\(_{3}\)- sowie N\(_{2}\)/H\(_{2}\)-Gasgemischplasmen massenspektrometrisch untersucht. Die Plasmadichte wird mittels einer Langmuirsonde bestimmt. Die Plasmen werden durch eine HF-angeregte, induktiv gekoppelte Plasmaquelle erzeugt. Die Plasmazusammensetzung in Abhängigkeit von Druck, Leistung und Mischungsverhältnis soll Aufschluss über die Reaktionskinetik geben. Der Schwerpunkt liegt hierbei auf den zeitmodulierten Plasmen.
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| Author: | Ralf Slaby |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-34982 |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2012/07/16 |
| Date of first Publication: | 2012/07/16 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| Date of final exam: | 2012/04/27 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik |
| GND-Keyword: | Plasma; Reaktionskinetik; Ammoniak; Stickstoff; Wasserstoff |
| Dewey Decimal Classification: | Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / Elektrotechnik, Elektronik |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
