MOCVD of tungsten and molybdenum nitrides
- Es wurden MOCVD-Precursoren für die Abscheidung von Wolfram- und Molybdännitrid hergestellt. Mit dem Ziel einer vollständigen Stickstoffkoordination wurden das Design dieser Precursoren auf dem Guanidinatligand aufgebaut. Von den hergestellten Wolframguanidinaten stellten sich 2 als vielversprechende Precursoren dar und wurden in MOCV-Experimenten verwendet. Hier wurde \(W_{2}N\) als kristalline Phase mit guten Leitfähigkeiten erhalten. Anschließend wurde der Precursor, welcher die besseren Ergebnisse geliefert hatte, auf einer Großanlage mit semiindustriellem Maßstab getestet. Hier wurden ebenfalls sehr hochqualitative Ergebnisse erhalten. Eine Übertragung der Ergebnisse auf Molybdän war nur teilweise möglich, zu dem lieferten die erhaltenen Mo-Precursoren deutlich schlechtere Ergebnisse als die W-Verbindungen.
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| Author: | Daniel RischeGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-21704 |
| Referee: | Roland A. FischerGND, Christof WöllORCiDGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2008/03/17 |
| Date of first Publication: | 2008/03/17 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Date of final exam: | 2008/02/15 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| GND-Keyword: | Wolfram; Molybdän; Nitride; Präkursor; Diffusionsbarriere |
| Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
| faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
