Metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) routes for fabrication of rare earth nitride thin films
- Die vorliegende Dissertation beschäftigt sich mit der Evaluation von Stickstoff koordinierten Seltenerd Komplexen als Präkursoren für die metallorganische chemische Dampfabscheidung (MOCVD) von Seltenerd-Nitrid Dünnschichten. Es wurden zwei verschiedene Klassen von Verbindungen untersucht, die Amidinate und die Guanidinate. Als Referenz und als Beispiel für eine kommerziell erhältliche Ligandenklasse wurden Cyclopentadienyl-Komplexe ausgewählt und untersucht. Modellsysteme für diese Untersuchungen waren die Seltenerd-Nitride GdN, ErN und YN. Es konnten qualitativ hochwertige und hochgradig orientierte Seltenerd-Nitrid Dünnschichten abgeschieden werden. Zusätzlich wurde Aluminium-Nitrid als alternatives Capping Material zu Kupfer untersucht, um eine Oxidation der Seltenerd-Nitrid Dünnschichten zu verlangsamen.
Author: | Michael KrasnopolskiGND |
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URN: | urn:nbn:de:hbz:294-41427 |
Subtitle (English): | precursor evaluation, thin film deposition and characterization |
Referee: | Roland A. FischerGND, Anjana DeviORCiDGND |
Document Type: | Doctoral Thesis |
Language: | English |
Date of Publication (online): | 2014/07/25 |
Date of first Publication: | 2014/07/25 |
Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Chemie und Biochemie |
Date of final exam: | 2014/03/20 |
Creating Corporation: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
GND-Keyword: | Nitride; Dampfabscheidung; MOCVD-Verfahren; Präkursor; Lanthanoide |
Institutes/Facilities: | Lehrstuhl für Anorganische Chemie II, Organometallics & Materials Chemistry |
Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Chemie, Kristallographie, Mineralogie |
faculties: | Fakultät für Chemie und Biochemie |
Licence (German): | Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |