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Jörg Ihde

• Für den Betrieb von Fusionsanlagen ist es erforderlich die Gefäßwände durch Abscheidung dünner, sauerstoffbindender Filme in reaktiven Gasen (\(SiH_{4}\), \(B_{2}H_{6}\)) zu konditionieren und akkumulierte Verunreinigungen regelmäßig zu entfernen. Die Verwendung supraleitender Feldspulen an zukünftigen Experimenten erfordert Verfahren, die mit den permanenten Magnetfeldern kompatibel sind. In dieser Arbeit werden daher mikrowellenerzeugte Plasmen in einem toroidalen Magnetfeld untersucht. Dazu wird eine Charakterisierung der Entladung in Abhängigkeit von den wählbaren Parametern Magnetfeldstärke, Neutralgasdruck und Mikrowellenleistung in unterschiedlichen Prozessgasen durchgeführt. Die Abscheidung von Schichten erfolgte in Methan und Acetylen, wobei eine räumlich aufgelöste Untersuchung der Eigenschaften der Filme erfolgte. Die Abtragung der Schichten in \(H_{2}\), \(D_{2}\) und \(O_{2}\)-Plasmen wurde verglichen.
• For the operation of fusion devices it is essential to condition the vessel walls by deposition of thin oxygen gettering layers in reactive gases (\(SiH_{4}\), \(B_{2}H_{6}\)) and to remove accumulated contaminations regularly. The usage of superconducting field coils in coming experiments requires methods which are compatible with the permanent magnetic fields. Therefor this thesis is dedicated to the investigation of microwave generated discharges in a toroidal magnetic field. The characterisation of the discharge is done in dependence on the magnetic field strength, neutral gas pressure and microwave input power for different process gases. For the deposition of layers in methane and acetylene the spatial distribution of the films and their characteristics have been investigated. On the other hand side the removal of the layers by \(H_{2}\), \(D_{2}\) and \(O_{2}\) -plasmas is discussed.