Modeling of ICP reactive discharges and numerical investigation of related nonlinear phenomena

Selbsterhaltende 2D Modellierung eines induktiv gekoppelten Plasmas durchgeführt mit Edelgasen, Methan und Sauerstoff. Der entwickelte Ansatz basiert auf dem Hybridansatz. In das Modell ist ein hydrodynamischer Ansatz zur Bestimmung der Profile der Ladungsträger, ein Boltzmann-Lösungssystem zur Auflösung der Elektronenverteilungsfunktion (es werden lokale und nicht-lokale Ansätze berücksichtigt), ein Modul zur Bestimmung der Verteilung des elektromagnetischen Feldes in der Plasmakammer und ein Chemie-Lösungssystem implementiert. Ein Vergleich mit Experimenten (Langmuir-Sonde, Absorptionsspektroskopie, Interferometer, Plasmamonitor) zeigt eine gute Übereinstimmung. Physikalische Mechanismen von experimentell beobachteten Nichtlinearitäten (Entladungskontraktion, Modenübergang und dazugehörige Hysteresis) sind untersucht und erklärt worden. Die Zuverlässigkeit des benutzten chemischen Reaktionssystems ist bei verschiedenen Mischungen und Entladungskonfigurationen überprüft worden.

Metadaten
Author:	Yuri Viktorovich Ivanov GND
URN:	urn:nbn:de:hbz:294-10883
Referee:	Henning Soltwisch GND, Achim von Keudell ORCiD GND
Document Type:	Doctoral Thesis
Language:	English
Date of Publication (online):	2004/07/29
Date of first Publication:	2004/07/29
Publishing Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek
Granting Institution:	Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie
Date of final exam:	2004/07/09
Creating Corporation:	Fakultät für Physik und Astronomie
GND-Keyword:	Simulation; Kaltes Plasma; Plasmachemie; Elektronenverteilung; Niederdruck
Institutes/Facilities:	Institut für Experimentalphysik V
Dewey Decimal Classification:	Naturwissenschaften und Mathematik / Physik
faculties:	Fakultät für Physik und Astronomie
Licence (German):	Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht

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