Entwicklung und Anwendung einer Thomson-Lichtstreu-Diagnostik für speziesreiche Molekülgas-Plasmen
- Ziel der vorliegenden Arbeit war der Aufbau und die Weiterentwicklung einer Thomson-Lichtstreu-Diagnostik an einer induktiv gekoppelten GEC-RF-Referenz-Zelle zur Untersuchung der Elektronenkomponente reaktiver RF-Plasmen mit typischen Elektronendichten von 10^17 m^(-3) - 10^18 m^(-3). Hierzu wurde eine Vielkanal-Photonenzähltechnik eingesetzt, die es erlaubt, den zeitlichen Signalverlauf des Streulichtes in acht spektralen Kanälen durch Akkumulation vieler Einzelmessungen (Größenordnung: 106) in einem einzelnen Multichannel Scaler gleichzeitig zu registrieren. Als Lichtquelle diente ein kontinuierlich abstimmbarer frequenzverdoppelter Ti:Saphir-Laser (430 nm - 480 nm). Erste Messungen der Elektronendichte und der Elektronentemperatur mittels inkohärenter Thomson-Streuung an reaktiven Ar/CH4-RF-Plasmen und Vergleichsmessungen mit einer Langmuir-Sonde wurden durchgeführt.
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| Author: | Markus KaczorGND |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:hbz:294-8201 |
| Referee: | Henning SoltwischGND, Jörg WinterGND |
| Document Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2003/09/01 |
| Date of first Publication: | 2003/09/01 |
| Publishing Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Universitätsbibliothek |
| Granting Institution: | Ruhr-Universität Bochum, Fakultät für Physik und Astronomie |
| Date of final exam: | 2003/06/02 |
| Creating Corporation: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| GND-Keyword: | Inkohärente Streuung; Titan-Saphir-Laser; ICP; Niederdruckplasma; Plasmadiagnostik |
| Dewey Decimal Classification: | Naturwissenschaften und Mathematik / Physik |
| faculties: | Fakultät für Physik und Astronomie |
| Licence (German): |  Keine Creative Commons Lizenz - es gelten der Veröffentlichungsvertrag und das deutsche Urheberrecht |
